Фирма ООО «ИНСКАН», осуществляющая поставки высокотехнологичного аналитического оборудования, его запуск, сервисное обслуживание и обучение пользователей, рассказала о новой напылительной установке DST2-TG от Nano-Struсtured Coatings Co.
Компания Nano-Struсtured Coatings Co., один из мировых лидеров по разработке и производству передового оборудования для напыления, представила очередную новинку – установку DST2-TG с двумя магнетронами, системой термического испарения и с возможностью размещения в перчаточном боксе.
Высоковакуумная установка DST2-TG имеет большую камеру образцов (диаметр – 300 мм) для размещения габаритных образцов, а два двухдюймовых магнетрона с водяным охлаждением позволяют проводить длительные процессы напыления. DST2-TG опционально может быть оснащена ВЧ-источником питания для напыления полупроводников и диэлектриков. Модуль термического испарения размещается рядом с магнетронами, что по сути позволяет использовать три источника для формирования покрытий.
Одними из ключевых особенностей представленной DST2-TG являются конструктивные решения, позволяющие размещать установку в перчаточном боксе:
• наличие электромеханического привода для подъема и опускания камеры образцов
• возможность подключения и управления установкой со стороннего компьютера с помощью встроенного Wi-Fi модуля
• наличие проходных соединений для подключения установки в перчаточном боксе
Напылительная установка DST2-TG от компании Nano-Struсtured Coatings Co. представляет собой новое решение для создания разнообразных, в том числе и многослойных, покрытий из широкого спектра материалов для всевозможных отраслей науки и промышленности. При использовании DST2-TG в перчаточном боксе позволяет добиться получения контролируемой среды в вакуумной камере для напыления прецизионных покрытий высокой чистоты, а также осуществлять обработку образцов до и после процесса осаждения в атмосфере инертного газа внутри перчаточного бокса.